Biyolojik uygulamalar için direnç sensörleri

Abstract

Bu tez çalışmasında biyolojik uygulamalar için direnç sensörleri üzerinde çalışılmıştır. Sensörler Termal kaplama cihazı ve PECVD yöntemi ile üretilmiştir. Çalışma prensibi, biyolojik numunenin sensör üzerine eklenmesi ile oluşan direnç değişimini tesbit etmektir. Dikey kapasitör sensörler tasarlanmış olup, metal kaplama için Altın ve Krom malzemeler kullanılmıştır. Metal plakaların arasına ise dielektrik malzeme olarak SiO2 ve Al2O3 malzemeleri kullanılmıştır. Nano boşluklu kapasitif nano biyosensörlerin fabrikasyonu yapılmış olup düşük frekans değerlerinde ve yüksek frekans değerlerinde sensörler test edilmiştir. Üretilen nano-biyosensörler tekrarlanabilirlik, kararlılık ve güvenilirlik testlerinden geçmiştir.

This thesis is about on resistance sensors for biological applications. Sensors have been produced by PECVD method via thermal coating device. Working princible is to locate resistance change on biologic sample if it is added to sensors. Vertical capacitive sensors have been designed, Gold and chrome materials have been used for metal plating. SiO2 and Al2O3 have been used for dielectic meterial between the metal plate. The fabrication of biosensors are made and sensors have been tested at low and high frequency. Nano-biosensors which were produced has been passed the test of repeatability, stability and reliability.