Yazar "Altungeyik, Yunus" seçeneğine göre listele

Listeleniyor 1 - 1 / 1
  • Küçük Resim
    Öğe
    Biyolojik uygulamalar için direnç sensörleri
    (Kırıkkale Üniversitesi, 2014) Altungeyik, Yunus; Ağan, Sedat
    Bu tez çalışmasında biyolojik uygulamalar için direnç sensörleri üzerinde çalışılmıştır. Sensörler Termal kaplama cihazı ve PECVD yöntemi ile üretilmiştir. Çalışma prensibi, biyolojik numunenin sensör üzerine eklenmesi ile oluşan direnç değişimini tesbit etmektir. Dikey kapasitör sensörler tasarlanmış olup, metal kaplama için Altın ve Krom malzemeler kullanılmıştır. Metal plakaların arasına ise dielektrik malzeme olarak SiO2 ve Al2O3 malzemeleri kullanılmıştır. Nano boşluklu kapasitif nano biyosensörlerin fabrikasyonu yapılmış olup düşük frekans değerlerinde ve yüksek frekans değerlerinde sensörler test edilmiştir. Üretilen nano-biyosensörler tekrarlanabilirlik, kararlılık ve güvenilirlik testlerinden geçmiştir.