Yazar "Kayikci, Eren Cem" seçeneğine göre listele

Listeleniyor 1 - 1 / 1
  • [ X ]
    Öğe
    Nanokristalli metal oksit yarıiletken kapasitörlerin geliştirilmesi
    (Kırıkkale Üniversitesi, 2013) Kayikci, Eren Cem; Ağan, Sedat
    Bu çalışmada kapasitör özelliği gösteren Metal-Oksit-Yarıiletken (MOS) yapılar ile çalışılmıştır. Silisyum alt yüzeyler üzerine amorf ince filmler Plazma ile Zenginleştirilmiş Kimyasal Buhar Depolama (PECVD) tekniği ile büyütülmüştür. Ardından yüksek sıcaklık fırınında tavlanarak nanokristaller elde edilmiştir.PECVD yöntemi ile Ge-SiO2 tabakalar büyütüldükten sonra üst tarafı vakum buharlaştırma yöntemi ile alüminyum ile kaplanarak Nanokristalli MOS kapasitörler oluşturulmuştur. Tek katlı ve üç katlı 35 nm Ge-SiO2 ve 5 nm Si3N4 tabakaları büyütülerek oluşturulan iki farklı örneğin kristalleşme özellikleri, Raman Spektroskopisi kullanılarak kontrol edildi. Malzeme içeriği ise Taramalı Elektron Mikroskobunda (SEM) X-ışını Dağılımı Spektoroskopisi (EDAX) dedektörü ile taranmıştır. Nanokristalli Metal Oksit Yarıiletken (MOS-C) Kapasitör? ün tek katlı ve üç katlı üretilme amacı; şarj tutma özelliklerini incelemektir. Şarj kapasiteleri kapasitans-gerilim (C-V) eğrilerindeki histerisislerde gözlemlenmiştir. Histerislerdeki kayma tek katlı MOS-C yapı için 0,62 V, üç katlı MOS-C yapı için ise 0,86 V olarak bulunmuştur. Omik kontak direnci ise Geçirgen Çizgi Methodu (TLM) kullanılarak ölçülmüştür.