AC ve DC püskürtme ile üretilen saydam azo ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılması

dc.contributor.advisorAğan, Sedat
dc.contributor.authorKuloğlu, Buse
dc.date.accessioned2021-01-16T19:08:18Z
dc.date.available2021-01-16T19:08:18Z
dc.date.issued2015
dc.departmentKKÜ, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı
dc.description.abstractBu çalışmada, aluminyum çinko oksit (AZO) ince filmler AC ve DC püskürtme yöntemleri kullanılarak üretilmiştir. Öncelikle, üretilen AZO ince filmler için hangi güç kaynağının daha uygun olduğu incelenmiştir. Sonrasında, bu güç kaynağı kullanılarak farklı güçlerde üretim yapılacaktır. Yapısal karakterizasyon için XRD, yüzey yapısı için SEM, değişen dağılımla yük niceliğini tanımlanamak için EDX ve ayrıca PL ve Raman spektroskopik yöntemleri kullanılmıştır.en_US
dc.description.abstractIn this study, aluminum zinc oxide thin films was prepared with using AC and DC sputttering system. First of all, we had investigated that which power supply is useful for fabricated AZO thin film. After, samples will fabricated with this power supply for different powers. XRD was used for the structural characterization, SEM was used for investigating surface structural. EDX was used for determine ion quantity with changing contribution. Also, PL and Raman spectroscopy methods was used.en_US
dc.identifier.endpage63en_US
dc.identifier.startpage1en_US
dc.identifier.uri
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12587/16550
dc.identifier.yoktezid418435
dc.language.isotr
dc.publisherKırıkkale Üniversitesien_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectFizik ve Fizik Mühendisliğien_US
dc.subjectPhysics and Physics Engineeringen_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.titleAC ve DC püskürtme ile üretilen saydam azo ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılmasıen_US
dc.title.alternativeCharacterization of transparent azo thin films which are produced by AC and DC sputtering and comparison with each otheren_US
dc.typeMaster Thesisen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Yükleniyor...
Küçük Resim
İsim:
418435.pdf
Boyut:
2.01 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Tam Metin/Full Text