AC ve DC püskürtme yöntemi ile üretilen alüminyum çinko oksit ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılması

Basit Öğe Kaydı
dc.contributor.advisorAğan, Sedat
dc.contributor.advisorTürköz, Mustafa Burak
dc.contributor.authorToprak, Adnan
dc.date.accessioned2021-01-16T19:08:18Z
dc.date.available2021-01-16T19:08:18Z
dc.date.issued2015
dc.departmentKKÜ, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı
dc.description.abstractBu çalışmada, Alüminyum Çinko Okside İnce Filmler AC ve DC sputter sistemi kullanılarak üretilmiştir. Öncelikle hangi güç kaynağının AZO ince film üretmek için daha kullanışlı olduğu incelenmiştir. Bundan sonra bu güç kaynağı yardımıyla değişik güçler uygulanarak örnekler üretildi. Üretilen örnekleri yüzey yapısını incelemek için SEM, Optik karakterizasyonu için RAMAN spektroskopisi, katkıyla değişen iyon miktarlarını belirlemek için EDS, elektriksel karakterizasyonu için R-T ölçümleri ayrıca PL analizleri yapılmıştır.en_US
dc.description.abstractIn this study, Aluminum Zinc Oxide Thin Film swill was prepared by using AC and DC sputttering system. First of all, it was investigated that which power supply is useful for fabricated AZO thin film. After that, different samples were produced by aid of this power supply by using varied powers. SEM is used for investigation of surface structural; TEM for structural analysis at the atomic level; EDS for determination of changing ion quantities with contribution; R-T for electrical characterization, besides PL analysis were executed.en_US
dc.identifier.endpage53en_US
dc.identifier.startpage1en_US
dc.identifier.uri
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12587/16551
dc.identifier.yoktezid430052
dc.language.isotr
dc.publisherKırıkkale Üniversitesien_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectFizik ve Fizik Mühendisliğien_US
dc.subjectPhysics and Physics Engineeringen_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.titleAC ve DC püskürtme yöntemi ile üretilen alüminyum çinko oksit ince filmlerin karakterizasyonu ve birbiri ile karşılaştırılmasıen_US
dc.title.alternativeInvestigation of characterization of aliminum, zinc oxide thin films produced by AC and DC sputtering and their comparison with each otheren_US
dc.typeMaster Thesisen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Küçük Resim
İsim:
430052.pdf
Boyut:
2.23 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Tam Metin/Full Text
İndir

Koleksiyon

Fen Bilimleri Enstitüsü Tez Koleksiyonu