Biyolojik uygulamalar için direnç sensörleri

dc.contributor.advisorAğan, Sedat
dc.contributor.authorAltungeyik, Yunus
dc.date.accessioned2021-01-16T19:08:19Z
dc.date.available2021-01-16T19:08:19Z
dc.date.issued2014
dc.departmentKKÜ, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı
dc.description.abstractBu tez çalışmasında biyolojik uygulamalar için direnç sensörleri üzerinde çalışılmıştır. Sensörler Termal kaplama cihazı ve PECVD yöntemi ile üretilmiştir. Çalışma prensibi, biyolojik numunenin sensör üzerine eklenmesi ile oluşan direnç değişimini tesbit etmektir. Dikey kapasitör sensörler tasarlanmış olup, metal kaplama için Altın ve Krom malzemeler kullanılmıştır. Metal plakaların arasına ise dielektrik malzeme olarak SiO2 ve Al2O3 malzemeleri kullanılmıştır. Nano boşluklu kapasitif nano biyosensörlerin fabrikasyonu yapılmış olup düşük frekans değerlerinde ve yüksek frekans değerlerinde sensörler test edilmiştir. Üretilen nano-biyosensörler tekrarlanabilirlik, kararlılık ve güvenilirlik testlerinden geçmiştir.en_US
dc.description.abstractThis thesis is about on resistance sensors for biological applications. Sensors have been produced by PECVD method via thermal coating device. Working princible is to locate resistance change on biologic sample if it is added to sensors. Vertical capacitive sensors have been designed, Gold and chrome materials have been used for metal plating. SiO2 and Al2O3 have been used for dielectic meterial between the metal plate. The fabrication of biosensors are made and sensors have been tested at low and high frequency. Nano-biosensors which were produced has been passed the test of repeatability, stability and reliability.en_US
dc.identifier.endpage76en_US
dc.identifier.startpage1en_US
dc.identifier.uri
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.12587/16553
dc.identifier.yoktezid418704
dc.language.isotr
dc.publisherKırıkkale Üniversitesien_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectFizik ve Fizik Mühendisliğien_US
dc.subjectPhysics and Physics Engineeringen_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.subjecten_US
dc.titleBiyolojik uygulamalar için direnç sensörlerien_US
dc.title.alternativeResistive sensors for biological applicationsen_US
dc.typeMaster Thesisen_US

Dosyalar

Orijinal paket
Listeleniyor 1 - 1 / 1
Yükleniyor...
Küçük Resim
İsim:
418704.pdf
Boyut:
2.12 MB
Biçim:
Adobe Portable Document Format
Açıklama:
Tam Metin/Full Text